[发明专利]一种Se-Cr2在审

专利信息
申请号: 202210077747.1 申请日: 2022-01-25
公开(公告)号: CN114497196A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 黎博;周欣芸;段曦东 申请(专利权)人: 湖南大学深圳研究院
主分类号: H01L29/24 分类号: H01L29/24;C23C16/30
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 黄攀
地址: 518063 广东省深圳市南山区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提出一种Se‑Cr2S3二维材料、制备方法及应用,制备方法包括如下步骤:根据载气气流方向,将石英管的腔室分为上游高温恒温区与下游高温恒温区;将S粉与Se粉放置在上游高温恒温区,将CrCl3粉放置在下游高温恒温区;在加热前预通入保护气吹扫腔室以去除石英管的腔室内的杂质,之后将S粉、Se粉以及CrCl3粉以30℃/min的升温速度加热至对应的挥发温度;随后将保护器变换为含氢载气Ar/H2,控制在预设载气流量下在沉积温度范围生长以得到Se‑Cr2S3二维材料。本发明通过Se掺杂成功提升Cr2S3二维材料的迁移率,缩短光响应时间以及调控其磁性能。
搜索关键词: 一种 se cr base sub
【主权项】:
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