[发明专利]一种ITO旋转靶的装粉装置在审
| 申请号： | 202210078140.5 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114407165A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 郭庆生;陈曦;朱刘;潘建坤 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | B28B1/087 | 分类号： | B28B1/087;B28B7/16;B28B7/00;B28B7/28;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李少欢 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及靶材技术领域，公开了一种ITO旋转靶的装粉装置，包括模具主体和驱动机构，所述模具主体的内部同轴设有芯轴，所述模具主体与所述芯轴之间用于填充ITO粉，所述模具主体的外侧可上下移动地设有锤击机构，所述驱动机构可拆卸地设置在所述模具主体的下端，用于驱动所述模具主体旋转。本发明制作靶材素胚时将ITO粉装入模具主体与所述模具芯轴之间的空腔，然后驱动机构驱动模具主体进行旋转，同时锤击机构上下移动地对模具主体的外壁进行锤击，从而实现了对模具主体的全方位锤击，保证了靶材素胚的密度，从而提高了ITO旋转靶的成型密度，保证了靶材的质量。同时，由于采用锤击机构进行拍打、夯实，不仅节约了劳动力，也提高了装粉效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 旋转 装置 | ||
【主权项】：
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