[发明专利]一种基于MZI结构的双模波导热光开关及其制备方法在审
| 申请号： | 202210079813.9 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114153028A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王希斌;林柏竹;孙士杰;朱穆;廉天航;张大明 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122;G02B6/125 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种基于MZI结构的双模波导热光开关及其制备方法，属于平面光波导器件技术领域。整个器件基于MZI光波导结构，从左到右依次由平行输入直波导、S弯曲波导、平行耦合臂波导、S弯曲波导、平行直波导、锥形波导、宽度大于输入直波导的平行相移器直波导、两个锥形波导、平行直波导、S弯曲波导、平行耦合臂波导、S弯曲波导、平行输出直波导、在平行相移器直波导正上方的金属电极构成。本发明采用硅片作为衬底，以有机聚合物材料分别作为波导的芯层和包层，充分利用了有机聚合物材料种类多样、加工性强和热光系数大的优势。同时，本发明所采用的制备工艺简单且与半导体工艺兼容、易于集成、适于大规模生产，因而具有重要的实际应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mzi 结构 双模 波导 开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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