[发明专利]一种大范围平面元件白光干涉快速测量方法有效
| 申请号： | 202210079883.4 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114485464B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 张效栋;焦凡苇 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G06T7/60;G06T7/70 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 周庆路 |
| 地址： | 300000*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大范围平面元件白光干涉快速测量方法，包括如下步骤：S1、利用粗对焦步骤确定白光干涉传感器的聚焦高度；S2、选取包含聚焦高度在内的采图区间；S3、在采图区间内依据精细采集步骤采集平面元件上至少四个不同位置处的初始条纹坐标；S4、依据初始条纹坐标拟合待测平面元件的位姿，进行高度补偿得到待测平面元件测量位姿；S5、根据待测平面元件测量位姿确定实际采图区间。本发明采用粗对焦步骤和精细采集步骤快速确定初始条纹坐标，并通过采用平面位姿标定来确定待测平面元件的整体位姿，根据待测平面元件的整体位姿可以快速准确的确定实际采图区间，大大提高了针对测量面积大的大范围平面元件的测量准确度和测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 范围 平面 元件 白光 干涉 快速 测量方法 | ||
【主权项】：
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