[发明专利]一种基于碳纳米管通道的纳流控芯片加工方法有效
| 申请号： | 202210089961.9 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114433261B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 彭冉;李橦;王贺嘉;宋永欣;徐敏义;潘新祥;李冬青 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 修睿;李洪福 |
| 地址： | 116026 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于碳纳米管通道的纳流控芯片加工方法。包括：在除水的基底上旋涂一薄层光刻胶并加热使其固化；将碳纳米管薄层通过热释法转移至光刻胶薄层表面的预定位置；在光刻胶薄层表面旋涂另一层光刻胶将碳纳米管嵌入其中；加热使光刻胶溶剂挥发，之后进行光刻操作，在基底上加工开式微米通道系统，光刻操作后碳纳米管部分暴露在微流通道中；将通道中倒入液态PDMS将暴露在通道中的碳纳米管嵌入PDMS，将PDMS固化并剥离，获得带有碳纳米管通道的纳流控芯片基底；对PDMS表面进行等离子氧化处理，将其和S5中所述碳纳米管通道的纳流控芯片基底进行等离子表面氧化处理，最终进行芯片键合，获得基于碳纳米管构建的纳流控芯片。本发明完整性好、制作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 通道 纳流控 芯片 加工 方法 | ||
【主权项】：
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