[发明专利]激光脉冲增强型分子束外延系统的PLEES制备系统

摘要

本发明公开了激光脉冲增强型分子束外延系统的PLEES制备系统，涉及纳米级薄膜技术领域；它的制备方法为：纯度为99.95%的Bi2Te3靶材和纯度为99.99%的Te靶材按1:1进行拼接形成混合靶材，并被置于外延室内；利用准分子激光器产生的激光束将混合靶材打散形成等离子束，分散的Bi原子和Te原子在另一侧衬底上沉积逐渐生长出纳米级薄膜；本发明的混合靶材能够极好地解决薄膜在生长过程中由于Te原子补充不足而出现的原子空位这个问题；保证了每一层外延膜的元素比例正确和Bi2Te3晶体的稳定生长；简化了操作流程，降低了生产成本，提高了薄膜生长速度，同时又能保证薄膜的生长质量。