[发明专利]一种用于超精密加工的轴向进给和旋转装置

摘要

本发明公开了一种用于超精密加工的轴向进给和旋转装置，属于超精密加工技术领域；包括高速主轴轴体和直线驱动机构，高速主轴轴体包括设置在轴体外部的外壳和节流器套筒、内部的转子、以及外部与内部之间的上止推节流器和下止推节流器；直线驱动机构采用压电扫描台并固定连接在节流器套筒的上端面上；上止推节流器和下止推节流器的轴向上设置有多个相互连通且为转子提供轴向悬浮支撑的压力孔，上止推节流器的上端节流段上设置有与压力孔连通的径向通气孔。本发明通过上、下止推节流器小孔节流原理为转子提供轴向和径向悬浮的支撑力，结合磁钢控制转子旋转，使主轴的旋转与直线运动在一个装置中同时完成，增加加工主轴的刚度，便于系统控制。