[发明专利]一种类锗锡三元合金及其制备方法在审
| 申请号： | 202210095231.X | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114438454A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 张超 | 申请（专利权）人： | 西安科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34;C23C14/58;C22C28/00 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710054 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种类锗锡三元合金及其制备方法，制备方法包括步骤：在目标衬底上淀积内置热源层；在内置热源层上淀积GeSn外延层；在GeSn外延层上淀积保护层；将目标衬底、内置热源层、GeSn外延层和保护层形成的样品加热至目标温度；利用激光再晶化技术，通过保护层对内置热源层和GeSn外延层进行激光扫描，使得内置热源层融化并扩散至GeSn外延层和保护层之间；去除保护层和内置热源层，形成类锗锡三元合金。该类锗锡三元合金的制备方法可获得高质量的类锗锡三元合金外延材料，有效降低激光再晶化技术在制备高质量类锗锡三元合金外延层应用时的高热能成本和高设备投入成本，拓展了激光再晶化技术在解决大晶格失配外延质量问题的适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 三元 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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