[发明专利]Micro LED的生产方法在审
| 申请号： | 202210095436.8 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114551655A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 韦雄奕 | 申请（专利权）人： | 希姆通信息技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 200335 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Micro LED的生产方法，包括以下步骤：步骤1：利用厚度为150微米的蓝宝石制作硅基背板晶圆板，并在硅基背板晶圆板上高温生长氮化镓LED晶体；步骤2：采用多点吸取式工具吸取氮化镓LED晶体，使氮化镓LED晶体从硅基背板晶圆板上剥离；步骤3：对氮化镓LED晶体的翘曲部分进行切割；步骤4：将氮化镓LED晶体与硅基晶体板结合成整体，制成Micro LED。本发明能降低硅基背板晶圆板弯曲和氮化镓LED晶体翘曲的情况发生，使氮化镓LED晶体能顺利制成Micro LED，提高Micro LED的生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | micro led 生产 方法 | ||
【主权项】：
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