[发明专利]一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统有效
| 申请号： | 202210096474.5 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114487478B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 韦学勇;李博;赵明辉;齐永宏;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/00 | 分类号： | G01P15/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 张宇鸽 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，解决了模拟解调过程中激光载波信号和参考信号相位差波动影响MOEMS传感器系统输出信号的问题，提高信号检测精度，同时适用范围广泛。包括：电压驱动信号单元用于输出两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号；LD驱动电流控制单元用于将相应的两路直流偏置正弦电压信号转化为相位差为90°的直流偏置正弦电流信号并输出；激光输出单元用于输出两路直流偏置正弦电流信号对应的两路激光信号至MEMS芯片；光信号处理回路用于将经MEMS芯片后携带有加速度信息的两路激光信号转化为两路电信号，对两路电信号进行解调获得两路解调信号后进行算法处理并输出加速度信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 正交 载波 调制 moems 加速度 传感器 系统 | ||
【主权项】：
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