[发明专利]同时检测薄壁回转体内外壁面形与厚度分布的方法与装置有效
| 申请号： | 202210100986.4 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114440790B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 居冰峰;张文浩;杜慧林;李畅 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/06;G01B11/02;G01B17/06 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱月芬 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种同时检测薄壁回转体内外壁面形与厚度分布的方法与装置。本发明通过底部转台、主测头转台与直线运动轴动子带动光谱共焦测头沿着薄壁壳类回转体的表面进行仿形扫描，可一次性实现薄壁壳类回转体内外壁面形与厚度分布的检测，不仅可避免在薄壁壳类回转体内部布置测头所造成的机械干涉，而且可保证内外壁面形测量数据以及厚度分布数据在三维空间内的坐标一致性，从而保障了整体测量精度，同时可适应如共形整流罩、半球陀螺谐振子等不同类型的薄壁壳类回转体的检测，为这类高端器件的制造过程提供一种兼具通用性、高效率与高精度的检测手段。 | ||
| 搜索关键词： | 同时 检测 薄壁 回转 体内 外壁 厚度 分布 方法 装置 | ||
【主权项】：
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