[发明专利]保护膜形成膜、保护膜形成用复合片及晶圆的再生方法在审
| 申请号： | 202210102491.5 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN115109284A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 野岛一马 | 申请（专利权）人： | 琳得科株式会社 |
| 主分类号： | C08J5/18 | 分类号： | C08J5/18;C08L33/08;C08L63/00;C08K7/18;C08K9/04;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种保护膜形成膜，针对所述保护膜形成膜，进行以空出30mm的间隔的方式把持作为多片所述保护膜形成膜的层叠物的试验片的两处，在所述两处之间将所述试验片沿与其表面平行的方向、以1000mm/分钟的速度拉伸，并测定所述试验片中产生的应力与所述试验片在其拉伸方向上的应变的拉伸试验时，所述应力最初成为0.1N/mm |
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| 搜索关键词： | 保护膜 形成 复合 再生 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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