[发明专利]拉晶方法、单晶炉及计算机可读存储介质在审
| 申请号： | 202210103879.7 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN116555887A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 张伟建;王莎莎;赵阳;郭力;杨正华 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种拉晶方法、单晶炉及计算机可读存储介质，涉及晶体生长技术领域。拉晶方法包括：在调温阶段的稳温过程，将加热功率降低第一预设功率；在引晶阶段，将加热功率降低第二预设功率，增大引晶阶段的平均拉速，并增大引晶长度；在放肩阶段，将加热功率降低第三预设功率，并增大放肩阶段的平均拉速。在调温阶段的稳温过程、引晶阶段、放肩阶段，将加热功率降低，提前减少了氧杂质的产生，保障了氧杂质的挥发，因此可以适当降低晶棒中的氧杂质，特别是适当降低了晶棒头部的氧杂质，可以减少放肩阶段的断线，且提升了等径头部的拉速。增大引晶阶段的平均拉速、增大放肩阶段的平均拉速可以保证拉晶的正常进行。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 单晶炉 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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