[发明专利]兼具高灵敏度及高精度的场发射柔性压力传感薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210106317.8 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN116558701A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 武利民;石澜 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/02;C23C14/16;C23C14/35;C23C16/26;C23C28/00;C08J5/18;C08L63/00;C08L83/04;C08K3/04 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 程宗德 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种兼具高灵敏度及高精度的场发射柔性压力传感薄膜及其制备方法，具有这样的特征，兼具高灵敏度及高精度的场发射柔性压力传感薄膜包括：被树脂包埋的可导电垂直纳米管阵列薄膜与超薄的单一组分聚合物弹性薄膜，其中，超薄的单一组分聚合物弹性薄膜的厚度小于1μm。本申请在压力传感领域引入了场发射机制，并使用只具有单一组分的聚合物弹性体作为外界压力的感应层，来大大降低系统误差，同时实现了高精度和高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 兼具 灵敏度 高精度 发射 柔性 压力 传感 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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