[发明专利]一种高精度温度控制的超稳光学腔在审
| 申请号： | 202210107517.5 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114625187A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 沈荣勋;张善超;林芳州;黄威龙;王嘉旋 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 44326 | 代理人： | 刘新年 |
| 地址： | 510000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度温度控制的超稳光学腔，包括真空系统、温度控制系统和综合程序控制系统；所述真空系统用于为高精度温度控制的超稳光学腔提供良好的真空环境；所述温度控制系统用于提高高精度温度控制的超稳光学腔的可操控性和高精度，通过集成在真空腔内的多层温度控制和支撑结构，保持了超稳光学腔的温度恒定；所述综合程序控制系统用于为高精度温度控制的超稳光学腔提供便捷的实时显示、记录和反馈功能，便于及时做出调整和优化；实时读取和记录真空度和温度值，同时将采集到的数据进行处理。本发明提高了超稳光学腔在温度控制方面的精度，保证超稳光学腔的有效腔长，并且在温度控制模式上可实现制冷和制热模式，扩展了适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 温度 控制 光学 | ||
【主权项】：
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