[发明专利]体声波谐振装置及形成方法、滤波装置及射频前端装置在审
| 申请号： | 202210108874.3 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114421915A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 韩兴;周建;李军涛;邹雅丽 | 申请（专利权）人： | 常州承芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张瑞;徐文欣 |
| 地址： | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种体声波谐振装置及形成方法、滤波装置及射频前端装置，其中体声波谐振装置包括：包括空腔的第一层；第一电极层；压电层，位于第一电极层上，覆盖空腔，包括第一侧及相对的第二侧，第一电极层位于第一侧；第二电极层，位于第二侧，位于压电层上，第二电极层上的与第一电极层的重合部位于空腔上方，对应空腔；第一复合结构，位于第一侧，接触压电层，与第一电极层水平方向上相邻，第一复合结构靠近第一电极层的第一端位于空腔内，远离第一电极层的第一端水平方向上相对的第二端嵌入第一层，包括第一边缘延伸层及第一支撑层，第一支撑层位于压电层与第一边缘延伸层之间，用于降低边缘容抗，提升机电耦合系数及阻隔漏波，提高Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振 装置 形成 方法 滤波 射频 前端 | ||
【主权项】：
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