[发明专利]一种红黄GaAs系LED芯片及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210110241.6 申请日: 2022-01-29
公开(公告)号: CN114551667A 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 窦志珍;兰晓雯;杨琦;贾钊;胡加辉;金从龙;顾伟 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: H01L33/06 分类号: H01L33/06;C30B25/02;C30B29/44;C30B31/22;H01L33/00;H01L33/10
代理公司: 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 代理人: 刘红伟
地址: 330000 江西省南昌市南*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明提供了一种红黄GaAs系LED芯片及其制备方法,涉及芯片技术领域,该芯片包括:GaAs衬底;外延层,设于所述GaAs衬底的一侧表面;高掺GaP层,包括第一GaP层、第二GaP层以及依次设于所述第一GaP层与所述第二GaP层之间的多个过渡GaP层,所述第一GaP层设于所述外延层上远离所述GaAs衬底的一侧表面,所述第二GaP层设于所述过渡GaP层上远离所述第一GaP层的一侧表面,所述第二GaP层内注入有be离子;ODR全反射层,包括反射介质层及镜面金属层,所述反射介质层及镜面金属层依次设于所述第二GaP层上远离所述第一GaP层的一侧表面。本发明能够解决现有技术中作为介质层的SiO2不导电,虽然蚀刻出了CB孔作为欧姆接触通道,但仍会使芯片的整体电压升高的技术问题。
搜索关键词: 一种 gaas led 芯片 及其 制备 方法
【主权项】:
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