[发明专利]一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器在审
申请号: | 202210110437.5 | 申请日: | 2022-01-28 |
公开(公告)号: | CN114530747A | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 秦愈 | 申请(专利权)人: | 北京春秋煜盛科技有限公司 |
主分类号: | H01S3/02 | 分类号: | H01S3/02;H05K9/00;H01B9/02;H01F27/02 |
代理公司: | 北京中普鸿儒知识产权代理有限公司 11822 | 代理人: | 曲芳兵 |
地址: | 100080 北京市海淀区中*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及高频脉冲电子设备技术领域,尤其为一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器,可以得到窄带222纳米紫外线(用于人机共存(消毒)或者得到13.5纳米的极紫外光等等(EUV光刻光源),包括金属罩、高压包、电源线和激光器,所述金属罩内侧设有高压包、电源线和激光器,所述高压包通过电源线和激光器电性连接在一起,所述高压包外侧通过铜箔纸涂胶层固定连接有铜箔纸,所述高压包内侧固定连接的变压器上固定连接有屏蔽线连接点,所述电源线外侧通过导电布涂胶层固定连接有涂胶布,本发明中,通过设置的锡箔纸、导电布、激光器屏蔽外壳和金属罩,可以在使用的过程中对激光器整体进行屏蔽,这样的方式更加的经济实惠,而且成本较低的同时便于操作,同时屏蔽效果较为良好,具有良好的实用价值,值得进行广泛的推广和使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 脉冲 电源 高压线 电磁 屏蔽 倍频 晶体 激光器 | ||
【主权项】:
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