[发明专利]气浮刚度加载装置、气浮刚度测试设备及气浮刚度测试方法有效
| 申请号： | 202210116720.9 | 申请日： | 2022-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN114441330B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 李建辉;田世伟;李志龙;宋婉贞;赵宝君 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G01N3/12 | 分类号： | G01N3/12;G01N3/04;B23Q1/38 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人： | 严小艳 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及气浮性能测试装置技术领域，具体而言，涉及一种气浮刚度加载装置、气浮刚度测试设备及气浮刚度测试方法，在第一方向上所述第一加载座安装于所述第一加载杆的中部，在所述第一方向上所述第一加载杆的两端均安装有所述加载组件，所述第一加载杆与所述第一加载座枢接，以使所述加载组件能够在第二方向上相对所述第一加载座移动，所述第一方向为所述第一加载杆的长度方向上，所述第一加载座、第一加载杆和所述加载组件在第二方向上依次排列，所述第二方向垂直于所述第一方向。本申请的目的在于针对现有气浮的刚度测试加载方式无法解决加载设备的出力端的偏置问题，提供一种气浮刚度加载装置、气浮刚度测试设备及气浮刚度测试方法。 | ||
| 搜索关键词： | 刚度 加载 装置 测试 设备 方法 | ||
【主权项】：
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