[发明专利]一种高温力传感器及其生产方法在审
| 申请号： | 202210116869.7 | 申请日： | 2022-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN114659681A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 盖广洪;白鹤 | 申请（专利权）人： | 苏州航凯微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/04;G01L19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴江区江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温力传感器，涉及传感器技术领域，包括弹性体、薄膜敏感组件和测温组件；所述弹性体中间段呈方形柱状，所述薄膜敏感组件设置有四组，分别安装于弹性体中间段的四个面上；所述壳体固定套接于弹性体上，所述薄膜敏感组件位于壳体内；所述测温组件安装于弹性体内；所述薄膜敏感组件包括由内向外的过渡层、绝缘膜、应变电阻膜和钝化保护膜。本发明还公开了高温力传感器的生产方法。本发明在高温力传感器的基础上，集成了测温功能，实现了力和温度的一体化测量；由于沉积了高温敏感层，利用了恒弹合金和钯电阻合金的高温稳定效应，因此本发明力传感器的温度灵敏度精度提高了一个数量级，相应的提高了传感器的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 传感器 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
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