[发明专利]跨尺度的气体传感器敏感机理分析与结构优化的仿真方法在审
| 申请号： | 202210118856.3 | 申请日： | 2022-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN114266173A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 苑振宇;杨帆;孟凡利;李毓东;张津赫 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G16C60/00;G06F113/08;G06F119/08;G06F119/14 |
| 代理公司： | 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 | 代理人： | 梁焱 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
本发明提供一种跨尺度的气体传感器敏感机理分析与结构优化的仿真方法，涉及传感器仿真技术领域。该方法包括微观尺度建模、介观尺度建模和宏观尺度建模。在微观尺度建模中，在吸附能和电荷转移量的共同作用下，选择出气敏材料理论上具有最高响应的目标气体；在介观尺度建模中，利用格子Boltzmann方法模拟待测气体的扩散；在宏观尺度建模中，建立多层结构的传感器模型，衬底材料为硅，支撑层为SiO |
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| 搜索关键词： | 尺度 气体 传感器 敏感 机理 分析 结构 优化 仿真 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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