[发明专利]耐腐蚀的气体喷淋头及其制作方法在审
| 申请号： | 202210119168.9 | 申请日： | 2022-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN114649188A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 刘小俊;胡如健;李春龙;卓鸿俊 | 申请（专利权）人： | 北京子牛亦东科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制作方法，该耐腐蚀的气体喷淋头包括：喷淋头本体，包括进气面和与所述进气面相对设置的出气面；多个气孔，贯穿所述进气面和所述出气面设置；所述出气面上由内到外依次设置有保护层和阻挡层，所述保护层用于保护所述喷淋头本体以免被腐蚀，所述阻挡层用于阻挡所述保护层与等离子体发生反应。该气体喷淋头通过在喷淋头本体的出气面覆盖一层抗腐蚀性能力较强的保护层，同时在保护层上再覆盖一层阻挡层，可以保护喷淋头本体以免被腐蚀，提高耐腐蚀性，使其具有更佳的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 气体 喷淋 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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