[发明专利]长晶炉在审
| 申请号： | 202210119829.8 | 申请日： | 2022-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN115233295A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 廖思涵 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京伟思知识产权代理事务所(普通合伙) 11725 | 代理人： | 聂宁乐;王宇航 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种长晶炉，包括一炉体、一坩埚、一第一加热装置、一第二加热装置及一升降装置，所述坩埚设置于所述炉体中，用以容置待熔化的固态原料，所述坩埚具有一上开口；所述第一加热装置设置于所述坩埚的侧边外围，用以对所述坩埚加热；所述第二加热装置设置于所述坩埚的所述上开口上方，所述第二加热装置包括一加热器，所述加热器面对所述坩埚的上开口；所述升降装置与所述第二加热装置连接，所述升降装置能受控制地带动所述第二加热装置在一轴向方向上相对所述坩埚上下移动。 | ||
| 搜索关键词： | 长晶炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
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