[发明专利]一种晶圆清洗装置及清洗系统有效
| 申请号： | 202210120127.1 | 申请日： | 2022-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN114589183B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;童建;李刚 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/02 | 分类号： | B08B11/02;B08B1/00;B08B1/04;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 225500 江苏省泰*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆清洗装置及清洗系统，一种晶圆清洗装置，包括清洗装置本体，其所述清洗装置本体的顶部设置有上框组件，所述上框的内部设置有清理机构，所述清洗装置本体的内部设置有调整机构，所述上框组件包括有立式电机，所述立式电机的输出轴通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至上框内部的立轴，所述立轴的外表面固定安装有旋转盘，所述旋转盘的底部固定安装有气缸，所述清理机构包括有清理盘，所述清理盘的顶部与气缸的底部固定安装。该晶圆清洗装置及清洗系统，通过设置有上框组件，通过立式电机和气缸的设置，使得清理机构具备旋转和上下移动的功能，进而达到对晶圆进行高效清刷的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 系统 | ||
【主权项】：
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