[发明专利]具有定向电子束的平面灯丝

摘要

平面灯丝11f可以包括多种材料以增加在期望方向上的电子发射并抑制在不期望方向上的电子发射。灯丝11f可以包括在顶材料TM和底材料BM之间的芯材料CM。顶材料TM可以具有最低的功函数WFt；底材料BM可以具有最高的功函数WFb；并且芯材料CM可以具有中间的功函数WFc(WFtWFcWFb)。灯丝11f在顶面31t处的宽度Wt可以大于其在底面31b处的宽度Wb(WtWb)。这种形状使得更容易地用底材料BM包覆边缘31e，因为边缘31e朝向溅射靶倾斜并且部分面向溅射靶。这种形状还有助于将更多的电子引导到靶14的中心，并减少在不期望的方向上的电子发射。