[发明专利]一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法在审
| 申请号： | 202210125281.8 | 申请日： | 2022-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN114664634A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 袁元;蒋军浩;张启华;钟碧麟;张勇为;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 洪启集成电路（珠海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J49/26 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 张金龙 |
| 地址： | 519080 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法，浸没透镜设置于二次离子质谱仪内，包括衬底圆盘、第一电极组件和绝缘安装组件，衬底圆盘用于作为第二电极，衬底圆盘上设置有安装槽，安装槽用于安装第一电极组件；衬底圆盘连接正电压，第一电极组件连接负电压，或者，衬底圆盘连接负电压，第一电极组件连接正电压，两电极间产生弧形电场。该方法将一次离子束通过衬底圆盘上的离子入射孔轰击样品表面，使得样品表面逸出二次离子，通过两电极间的弧形电场使二次离子产生偏转，使得二次离子聚焦一点。本发明结构简单，最大程度收集到二次离子，得到更强的离子束信号，方便后续的采集分析，并能够实现离子能量，离子方向双聚焦。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二次 离子 质谱仪 中的 浸没 透镜 聚焦 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洪启集成电路（珠海）有限公司，未经洪启集成电路（珠海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210125281.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
