[发明专利]一种晶圆缺陷样本生成方法及系统在审
| 申请号： | 202210126893.9 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN114463313A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 吴晓敏;刘暾东 | 申请（专利权）人： | 磐柔（厦门）工业智能有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;G06V10/774;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 361026 福建省厦门市海沧区海*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆缺陷样本生成方法及系统。所述方法包括：获取标记后的晶圆缺陷图片样本集并将其划分为训练集和测试集；建立径向基神经网络，其网络输入为晶圆缺陷图片像素点，输出为缺陷概率；通过训练集对径向基神经网络进行训练，利用训练后的径向基神经网络对测试集进行计算，获得缺陷生成训练集；将缺陷概率作为输入，晶圆缺陷图片像素点缺陷作为输出，重新构建径向基神经网络；使用缺陷生成训练集对重新构建的径向基神经网络进行训练，生成训练好的径向基神经网络；采用训练好的径向基神经网络自动生成晶圆缺陷样本。采用本发明方法能够通过小样本数据生成大量晶圆缺陷数据，解决了由于训练集缺失导致的深度学习训练数据不足的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 样本 生成 方法 系统 | ||
【主权项】：
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