[发明专利]一种具有GaN电流通道的GaAs基激光器外延片及其制备方法在审
申请号: | 202210127574.X | 申请日: | 2022-02-11 |
公开(公告)号: | CN114566868A | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 赵凯迪;张新;王朝旺 | 申请(专利权)人: | 山东华光光电子股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/22 | 分类号: | H01S5/22;H01S5/34;H01S5/343 |
代理公司: | 济南光启专利代理事务所(普通合伙) 37292 | 代理人: | 李晓平 |
地址: | 250101 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开一种具有GaN电流通道的GaAs基激光器外延片及其制备方法。所述GaN电流通道埋设在该外延片中的Alx3Ga1‑x3As上波导层中。通过在上波导层中埋入GaN电流通道,将电流限制在GaN电流通道中实现电流约束,因为GaN材料禁带宽度大,对于长波长的光吸收很低,不会影响长波长激光器的激射,有效克服了GaN激光器存在长时间工作会导致功率衰减严重的问题。另外,由于GaN材料的偏振系数与AlGaAs材料不同,在上波导层中埋入GaN电流通道后,能够在GaN/AlGaAs界面处形成一层正的极化电荷吸引自由电子形成补偿,与激光器的内建电场形成抵消,有利于空穴与电子在量子阱中的复合,提升激光器效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 gan 电流 通道 gaas 激光器 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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