[发明专利]一种可调脉宽的功率脉冲施加电路及脉冲调节方法

摘要

本发明公开了一种可调脉宽的功率脉冲施加电路及脉冲调节方法，电路包括二极管D3、电阻R1、电阻RC、电容C1、电容C2、电容C5、电容CC1、电容CC2、开关SW1、开关SW2、电源VH、开关及VH控制和驱动单元；电容C1与源并联；电容CC1和电容CC2的一端均连接电阻RC，另一端分别连接母线DUT+和DUT‑；电源VH与电容C2并联，电源VH的+端通过开关SW1、SW2过电容CC1与母线DUT+连接，电源VH的‑端过电容CC2与母线DUT‑连接；开关及VH控制和驱动单元用于控制开关SW1、SW2的通断、开关时序。本发明通过控制开关SW1、开关SW2的通断及时序，实现所需要脉宽的脉冲输出，解决了现有技术中脉宽调节受到限制及脉冲边沿形状不易调节的技术问题，尤其是能够实现窄脉冲输出。