[发明专利]石墨烯薄膜的收放卷装置、沉积系统及制备方法在审
| 申请号： | 202210134284.8 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN116620908A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 曹风;王雄彪;彭海琳;李科;徐涛;沈伟;刘忠范 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | B65H16/06 | 分类号： | B65H16/06;B65H16/00;B65H18/10;B65H18/02;C23C16/54;C23C16/26;C23C16/505 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 孙宝海;阚梓瑄 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种收放卷装置和等离子体增强化学气相沉积系统及石墨烯薄膜的制备方法。收放卷装置包括放卷轴、收卷轴、底座和电机。放卷轴用于设置衬底；收卷轴与放卷轴平行设置并收卷石墨烯薄膜和衬底；底座设置在放卷轴和收卷轴的下方并支撑放卷轴和收卷轴；电机与收卷轴连接，并为收卷轴提供动力。通过以上设计，可制备宽幅较大的石墨烯薄膜，解决目前大尺寸石墨烯薄膜制备受限的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 薄膜 收放卷 装置 沉积 系统 制备 方法 | ||
【主权项】：
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