[发明专利]一种集成微纳粒子和光波导的光子学器件结构在审
| 申请号： | 202210135028.0 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN114296185A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 黎永前;余洋;刘金泽;乔大勇 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出一种集成微纳粒子和光波导的光子学器件结构。该光子学器件结构包括微纳粒子(101)，光波导(201，202)，以及基底层(301)。其特征在于微纳粒子(101)位于光波导(201，202)的轴线延长线方向；微纳粒子(101)和光波导(201)属于横向光散射层(200)；横向光散射层制备在基底层(301)上。所述微纳粒子和光波导的材料包括但不限于，硅、锗、或者氮化硅等电介质材料。该光子学器件结构实现入射光束(401)耦合进光波导(201)和/或光波导(202)，或者入射光束(401)实现等强度或者不等强度分光进光波导(201，202)。该光子学器件结构及其阵列可以实现传感器功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 粒子 波导 光子 器件 结构 | ||
【主权项】：
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