[发明专利]一种具有超声与压力感知功能的柔性复合式传感阵列在审
申请号: | 202210137065.5 | 申请日: | 2022-02-15 |
公开(公告)号: | CN114545423A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 汪延成;张中坛;梅德庆;陈志坚;戴松乔 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01S15/93 | 分类号: | G01S15/93;G01S15/04;G01S7/521;G01L1/18;B41C1/14 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林超 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有超声与压力感知功能的柔性复合式传感阵列。包括上下叠层的具有金字塔凸台的PDMS上封装层、超声感知阵列、超声感知阵列基底层、柔性压敏感知阵列、柔性压敏感知阵列基底层和具有金字塔凹槽的PDMS下封装层;交流电下,超声感知阵列发射超声波,经物体反射后接收;压力传递到柔性压敏感知阵列上;具有金字塔凸台的PDMS上封装层与具有金字塔凹槽的PDMS下封装层形成互锁定位结构。本发明保证超声感知检测精度,解决了下压过程中超声感知的干扰问题,减小PVDF敏感层单元的热通量,提高超声感知功能的灵敏度和成像精度,受环境影响小,检测精度高,检测距离远。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 超声 压力 感知 功能 柔性 复合 传感 阵列 | ||
【主权项】:
暂无信息
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