[发明专利]一种222nm深紫外脉冲激光源的产生装置在审
| 申请号： | 202210138571.6 | 申请日： | 2022-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN114498276A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 郭永瑞;张娜娜;陈鑫 | 申请（专利权）人： | 重庆邮电大学 |
| 主分类号： | H01S3/109 | 分类号： | H01S3/109;H01S3/115 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 梁田 |
| 地址： | 400000 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种222nm深紫外脉冲激光源的产生装置，属于激光器技术领域。本发明包括自倍频Nd:YCOB调Q激光器、腔外三倍频激光器两部分；自倍频Nd:YCOB调Q激光器，用于把原始泵浦激光经自倍频处理过程产生666nm红光脉冲激光；腔外三倍频激光器，用于把666nm红光脉冲激光经过三倍频频率转换，得到222nm深紫外脉冲激光并输出腔外。本发明利用激光二极管泵浦Nd:YCOB自倍频晶体电光调Q产生666nm脉冲激光，将该666nm脉冲激光作为三倍频激光器的泵浦激光源，通过三倍频过程获得222nm深紫外脉冲激光输出。本发明具有结构简单紧凑、转换效率高、峰值功率高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 222 nm 深紫 脉冲 激光 产生 装置 | ||
【主权项】：
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