[发明专利]一种靶材孔位的安装检具及检测方法在审
申请号: | 202210144585.9 | 申请日: | 2022-02-17 |
公开(公告)号: | CN114485325A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;陈文庆 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | G01B5/00 | 分类号: | G01B5/00;G01B5/08 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 韩承志 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种靶材孔位的安装检具及检测方法,所述安装检具包括检具主体和检具插销,两者独立设置;所述检具主体呈圆环形结构,其中间位置设有通孔,所述检具主体上设有多个圆柱形凸起,其数量与靶材标准孔的数量相同,圆柱形凸起对应插入靶材的孔位中;所述检具插销呈圆柱状结构,其两端均设有插销头,一端插销头的直径大于靶材孔的直径,另一端则小于靶材孔的直径。本发明根据待检测靶材中孔位的结构及分布,设计相应的安装检具,检具主体上的圆柱形凸起便于检测靶材上孔的位置是否合适,检具插销则检测靶材上孔的直径是否合适,检测速率快,精确度高,使之安装时的匹配性较好;所述安装检具结构简单,检测方法操作简便,成本较低。 | ||
搜索关键词: | 一种 靶材孔位 安装 检测 方法 | ||
【主权项】:
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