[发明专利]一种靶材孔位的安装检具及检测方法在审

专利信息
申请号: 202210144585.9 申请日: 2022-02-17
公开(公告)号: CN114485325A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;陈文庆 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: G01B5/00 分类号: G01B5/00;G01B5/08
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 韩承志
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种靶材孔位的安装检具及检测方法,所述安装检具包括检具主体和检具插销,两者独立设置;所述检具主体呈圆环形结构,其中间位置设有通孔,所述检具主体上设有多个圆柱形凸起,其数量与靶材标准孔的数量相同,圆柱形凸起对应插入靶材的孔位中;所述检具插销呈圆柱状结构,其两端均设有插销头,一端插销头的直径大于靶材孔的直径,另一端则小于靶材孔的直径。本发明根据待检测靶材中孔位的结构及分布,设计相应的安装检具,检具主体上的圆柱形凸起便于检测靶材上孔的位置是否合适,检具插销则检测靶材上孔的直径是否合适,检测速率快,精确度高,使之安装时的匹配性较好;所述安装检具结构简单,检测方法操作简便,成本较低。
搜索关键词: 一种 靶材孔位 安装 检测 方法
【主权项】:
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