[发明专利]一种无掩膜版的图案化薄膜及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202210146592.2 | 申请日： | 2022-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN114318243B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 刘晓燕;张婷;周伟家;刘震;刘宏 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/04 |
| 代理公司： | 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 | 代理人： | 尚久恒 |
| 地址： | 250022 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无掩膜版的图案化薄膜及其制备方法和应用。本发明采用激光直写，待镀基底位于镀膜材料的上方或待镀基底位于镀膜材料的下方，激光聚焦在镀膜材料上制备得到无掩膜版的图案化薄膜。当待镀基底为玻璃，镀膜材料为具有抑菌能力的金属材料时，图案化镀膜可以作为透明导电杀菌玻璃，应用于杀菌领域。当待镀基底为玻璃，镀膜材料为金属材料时，制备得到的图案化镀膜可以与带有微流道的PDMS片基组成恒温扩增微流控芯片，应用于分析化学、生命健康、医学研究、环境检测等众多领域的微流控检测。本发明的方法不使用掩膜版，简单实用，成本低廉，并且可以简单的做到各种尺寸和材质基底的图案化镀膜，应用范围及其广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无掩膜版 图案 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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