[发明专利]芯片的测试方法、装置、设备和存储介质在审
| 申请号： | 202210149662.X | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN114545203A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 朱渊源 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种芯片的测试方法、装置、设备和存储介质，该方法包括：载入目标晶圆上的芯片图形；基于载入的芯片图形，依次进行N个项目的图形测试，得到N个测试项目中每个测试项目的测试结果，N为自然数，N≥2；对每个测试项目的测试结果进行处理，得到目标晶圆的测试结果。本申请通过一次性载入目标晶圆上的芯片图形后，基于载入的芯片图形，依次进行多个项目的图形测试，得到多个测试项目中每个测试项目的测试结果，对每个测试项目的测试结果进行处理，得到目标晶圆的测试结果，由于不需要在每个测试项目的图形测试前进行芯片图形载入，因此能够节省测试时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 测试 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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