[发明专利]感光性干膜在审
申请号: | 202210149893.0 | 申请日: | 2022-02-18 |
公开(公告)号: | CN114967331A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 樱井隆觉 | 申请(专利权)人: | 旭化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/038 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | [课题]提供能够降低针孔、并且能够实现微细化的感光性干膜。[解决手段]一种感光性干膜,其特征在于,具有(1)支承体、(2)感光性树脂层和(3)覆盖膜,(2)感光性树脂层含有以下的成分:(A)主链不含有烯属不饱和基团的碱溶性树脂;(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物;(C)光聚合引发剂;和(D)I/O值(无机性值/有机性值)超过0且为0.7以下、环中含有1个以上N原子的杂环化合物(其不包括含有巯基(‑SH基)的杂环化合物)。 | ||
搜索关键词: | 感光性 | ||
【主权项】:
暂无信息
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