[发明专利]一种ZnO薄膜制备工艺及装置在审
| 申请号： | 202210151824.3 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN114472334A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 季旭;林丽君;刘同来;董美;于凤梅;赵栋;孔壹右;叶俊伟;陈杰鑫;梁志华;李家蝉;黄家眉;周志雄;马佳升;钟泽炫 | 申请（专利权）人： | 仲恺农业工程学院 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/02;B08B5/02;B08B11/00;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/35 |
| 代理公司： | 重庆莫斯专利代理事务所(普通合伙) 50279 | 代理人： | 刘强 |
| 地址： | 510220 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜制备技术领域，具体涉及一种ZnO薄膜制备工艺及装置，包括输送组件、清洗组件和风干组件，输送组件包括支撑台、两条第一输送线和第一清洗器，清洗组件包括移动器、升降器、清洗头和多个吸嘴，使用时将基片放置到两个第一输送线之间进行输送，当移动到第一清洗器上方时，通过升降器带动清洗头下移对基片进行清洗，然后启动吸嘴将基片吸起，升降器上移，然后启动第一清洗器对基片的下部进行清洗，然后移动移动器将基片送出，使得可以更加方便地对基片进行全方位的清洗，从而可以提高清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 zno 薄膜 制备 工艺 装置 | ||
【主权项】：
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