[发明专利]一种高频响大量程的MEMS摩阻传感器有效
| 申请号： | 202210154250.5 | 申请日： | 2022-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN114216648B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王雄;郭辉辉;朱涛;郭治江;王南天;许晓斌;崔炜栋 | 申请（专利权）人： | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 |
| 主分类号： | G01M9/06 | 分类号： | G01M9/06;G01N19/02 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 621900 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电系统中的MEMS传感器领域，公开了一种高频响大量程的MEMS摩阻传感器。该MEMS摩阻传感器由封装盖板、表头结构、接口电路和封装管座构成；封装盖板和封装管座为上下叠放的圆柱体，封装盖板和封装管座的中心空腔安装有表头结构和接口电路；表头结构是MEMS摩阻传感器的主要构件，由浮动元件、硅微结构和电极基板构成，用来感应飞行器模型表面的摩阻并转化为差分电容信号。该MEMS摩阻传感器采用浮动元件与待测壁面平齐、信号输出微结构与风洞流场隔离的立体式MEMS表头结构和平板电容差分检测测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 量程 mems 传感器 | ||
【主权项】：
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