[发明专利]一种带状传输薄膜晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 202210159854.9 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN114530556B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 纪德洋;郑莹爽;李立强 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H01L51/05 | 分类号： | H01L51/05;H01L51/40 |
| 代理公司： | 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 | 代理人： | 李艳芬 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带状传输薄膜晶体管及其制备方法，涉及有机场效应晶体管技术领域。该薄膜晶体管的介电层为双层聚合物介电层，半导体层为2,6‑二苯基蒽；双层聚合物介电层的上层为PPO、PAA或PVP，下层为PI。制备过程：首先在导电玻璃表面涂覆PI前体，退火得到PI薄膜；然后对薄膜进行氧等离子体处理，在处理后的PI表面涂覆PPO、PAA或PVP溶液，退火，得到双层聚合物介电层；在双层聚合物介电层上衬底50℃蒸镀2,6‑二苯基蒽薄膜和源/漏电极，得薄膜晶体管。本发明改变了电荷常见的热激活传输模式，实现了高质量载流子运输的带状传输模式，使得晶体管能够更好的面对使用过程中的应用挑战。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带状 传输 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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