[发明专利]一种双模声耦合表面波滤波器

摘要

本发明请求保护一种双模声耦合表面波滤波器，它是一种基于128°YX‑LiNbO3压电衬底的带通滤波器，其包括一个128°YX‑LiNbO3压电衬底，三个叉指换能器(Interdigital Transducer,IDT)，两个反射栅(Mirror Grid)，以及一层覆盖在叉指换能器和反射栅上面的SiO2膜。相比于传统的DMS滤波器，本发明引入了SiO2薄膜结构，该结构不仅解决了128°YX‑LiNbO3压电衬底设计DMS滤波器出现的肩峰问题，而且还大大降低了插入损耗。并且128°YX‑LiNbO3压电衬底在一般被用作梯形声表面波滤波器的设计，本发明将其应用到DMS滤波器上，且性能相对于传统的基于36°YX‑LiNbO3的DMS滤波器有所提升。