[发明专利]衬底清洗装置有效
| 申请号： | 202210163228.7 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN115193768B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 朴庸硕;姜辰求 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;侯晓艳 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种衬底清洗装置，其可以使用旋转的滚刷来去除衬底处存在的异物，可以清洗从衬底吸附到滚刷上的异物，可以防止在清洗滚刷时从滚刷分离的异物传递到清洗后的衬底。为此，本发明公开了以下特征，包括：刷单元，具有滚刷，滚刷在与衬底的下部表面接触的状态下在旋转的同时清洗衬底的下部表面处存在的异物；清洗单元，清洗滚刷处存在的异物，清洗单元包括：腔室，在内部具有清洗空间，设置成包围滚刷的一部分，使得滚刷可以与衬底的下部表面接触；喷射模块，在清洗空间内与滚刷隔开配置，朝向滚刷的下部喷射清洗液；隔板部件，至少一部分配置在滚刷和喷射模块之间，防止从喷射模块喷射的清洗液撞击滚刷时产生的雾的扩散。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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