[发明专利]一种高激光损伤阈值金刚石镜片及其制备方法有效
| 申请号： | 202210170247.2 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114236658B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 郭可升;胡强;卫红;胡琅;肖永能;侯少毅;杨振怀;刘乔 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G03F1/80;G03F1/78;G03F7/30;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58;C23C16/27;C23C28/00 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及激光光学领域，公开了一种高激光损伤阈值金刚石镜片及其制备方法，高激光损伤阈值金刚石镜片的制备方法包括以下步骤：在单晶金刚石衬底上沉积一层单晶金刚石薄膜；利用有限元方法设计微柱状结构阵列；在所述单晶金刚石薄膜上镀制一层金属膜；将所述微柱状结构阵列的顶面轮廓图案光刻到所述金属膜上，显影；对所述金属膜表面进行垂直刻蚀；对所述单晶金刚石衬底进行倾斜旋转刻蚀；去除所述微柱状结构上的金属膜。采用本申请制备方法制备得到的高激光损伤阈值金刚石镜片为全金刚石镜片，具有较高的激光损伤阈值，且制备方法简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 损伤 阈值 金刚石 镜片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于季华实验室，未经季华实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210170247.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：区域定位方法、装置、设备和存储介质
- 下一篇：光纤激光器线性恒流驱动源
