[发明专利]半导体装置在审
| 申请号： | 202210172779.X | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114823535A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 黄耀升;张毅敏;赵皇麟 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/8238 | 分类号： | H01L21/8238;H01L27/092 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种半导体装置。半导体装置的形成方法采用一个图案化的掩模与一个自对准掩模以形成n型源极/漏极结构与p型源极/漏极结构，以增加误差容许范围并提供多种形状及/或体积的源极/漏极结构的弹性。一些实施例在形成第一型态的源极/漏极结构之后，可形成自对准掩模层于第一型态的源极/漏极结构上而不需采用光刻工艺，因此可避免在图案化工艺中损伤第一型态的源极/漏极结构。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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