[发明专利]一种一步化凝胶溶胶提拉烧结镀膜装置及其使用方法在审

专利信息
申请号: 202210183393.9 申请日: 2022-02-28
公开(公告)号: CN114622190A 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 夏志林;李庭宣 申请(专利权)人: 武汉理工大学
主分类号: C23C18/14 分类号: C23C18/14;C23C18/12
代理公司: 武汉市首臻知识产权代理有限公司 42229 代理人: 高琴
地址: 430070 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种一步化凝胶溶胶提拉烧结镀膜装置,包括固定座、可沿固定座上下移动的待镀膜元件夹持件、置于固定座的底座上的溶胶容器、对称布置在待镀膜元件夹持件两侧的两组镀膜元件烧结组件,镀膜元件烧结组件包括透镜、激光发射器,透镜位于待镀膜元件夹持件与激光发射器之间,使用时,先向溶胶容器中加入溶胶溶液,并采用待镀膜元件夹持件夹紧待镀膜元件,再使待镀膜元件夹持件沿固定座向下移动至待镀膜元件的待镀膜区域完全浸入溶胶溶液中,随后使待镀膜元件夹持件沿固定座向上移动以实现镀膜元件的提拉,在提拉过程中,开启激光发射器,来自激光发射器的激光通过透镜汇聚在镀膜元件表面,对其进行烧结。本设计不仅提高了镀膜效率,而且结构简单。
搜索关键词: 一种 一步 凝胶 溶胶 烧结 镀膜 装置 及其 使用方法
【主权项】:
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