[发明专利]一种带撕膜覆膜装置的真空卷绕镀膜设备及镀膜方法在审

专利信息
申请号: 202210185654.0 申请日: 2022-02-28
公开(公告)号: CN114525492A 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 朱刚劲;朱刚毅 申请(专利权)人: 广东腾胜科技创新有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/35;C23C14/58;C23C14/02
代理公司: 东莞高瑞专利代理事务所(普通合伙) 44444 代理人: 杨英华
地址: 526000 广东省肇庆市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种带撕膜覆膜装置的真空卷绕镀膜设备,包括真空容器和放卷系统、镀膜辊及收卷系统,基材经过镀膜辊后复卷到收卷系统,镀膜辊的外圆周侧部设磁控靶,保护膜从放卷系统上输出后与基材分离,在镀膜辊的输出端设有覆膜卷,保护膜覆在基材表面复卷至收卷系统。一种镀膜方法,包括:通过真空抽气系统和真空测量系统使真空容器内部满足真空条件;放卷系统传送带保护膜的基材缠绕在镀膜辊前,先将保护膜撕除卷绕在撕膜卷上;镀膜辊外圆周处设磁控靶对镀膜辊表面的基材进行镀膜;基材表面贴覆保护膜后复卷在收卷系统上。本发明可对带保护膜的薄膜基材进行撕膜镀膜,镀膜完后再贴覆保护膜进行收卷,实现单面镀膜和双面镀膜的功能。
搜索关键词: 一种 带撕膜覆膜 装置 真空 卷绕 镀膜 设备 方法
【主权项】:
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