[发明专利]一种带覆膜撕膜装置的真空卷绕镀膜设备及其镀膜方法在审

专利信息
申请号: 202210186187.3 申请日: 2022-02-28
公开(公告)号: CN114635119A 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 朱刚劲;朱刚毅 申请(专利权)人: 广东腾胜科技创新有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/35
代理公司: 东莞高瑞专利代理事务所(普通合伙) 44444 代理人: 杨英华
地址: 526000 广东省肇庆市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种带覆膜撕膜装置的真空卷绕镀膜设备,包括真空容器、设于真空容器内的放卷系统、镀膜辊、覆膜卷、撕膜卷及收卷系统,放卷系统上缠绕基材与覆膜卷上保护膜一起贴合,经过镀膜辊后,在收卷时基材与保护膜分离开,基材收卷在收卷系统上,保护膜收卷在撕膜卷上,在镀膜辊的外侧设有磁控靶。还公开一种镀膜方法,包括:将放卷系统上的基材绕过镀膜辊外层,并收卷在收卷系统上;将覆膜卷上的保护膜贴合在基材内表面,保护膜在镀膜辊内层,基材在外层,一起缠绕通过镀膜辊上,进入收卷时缠绕在撕膜卷上;基材通过镀膜辊时,磁控靶对镀膜辊上的基材进行磁控溅射镀膜。本发明可增加基材的拉张力,避免产生褶皱、走偏和拉断,提升镀膜效果。
搜索关键词: 一种 带覆膜撕膜 装置 真空 卷绕 镀膜 设备 及其 方法
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