[发明专利]声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置和射频前端装置有效
申请号: | 202210189402.5 | 申请日: | 2022-03-01 |
公开(公告)号: | CN114337588B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 邹雅丽;王斌;韩兴;周建 | 申请(专利权)人: | 常州承芯半导体有限公司 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;H03H9/145;H03H9/02;H03H3/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 徐文欣 |
地址: | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置和射频前端装置,涉及半导体技术领域,其中,声表面波谐振装置包括:压电基底;位于压电基底内的金属扩散部;位于压电基底表面的电极层,包括:第一总线、第二总线、若干第一电极条、若干第二电极条,第一总线与第二电极条之间具有第一间隔,第二总线与第一电极条之间具有第二间隔,第一电极条和第二电极条交替排布;位于电极层表面和暴露的压电基底表面上的温度补偿层。从而,可使所述声表面波谐振装置激励形成活塞模态,以抑制高阶模态下的横向寄生谐振,改善或消除插入损耗问题。 | ||
搜索关键词: | 表面波 谐振 装置 形成 方法 滤波 射频 前端 | ||
【主权项】:
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