[发明专利]声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置和射频前端装置有效
| 申请号： | 202210189453.8 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114337589B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 邹雅丽;王斌;韩兴;周建 | 申请（专利权）人： | 常州承芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/145;H03H9/02;H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣 |
| 地址： | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置和射频前端装置，涉及半导体技术领域，其中声表面波谐振装置包括：压电基底，包括沿第一方向依次排布的第一总线区、第一间隔区、叉指重合区、第二间隔区和第二总线区；位于叉指重合区内的金属扩散部；位于压电基底表面的电极层，包括：位于第一总线区上的第一总线、位于第二总线区上的第二总线、与第一总线连接的若干第一电极条、以及与第二总线连接的若干第二电极条，第一电极条和第二电极条在第二方向上交替排布，第二方向垂直于第一方向，第一电极条位于第一间隔区和叉指重合区表面上，第二电极条位于第二间隔区和叉指重合区表面上。因此，可减少横向声波泄漏，提升并联Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 谐振 装置 形成 方法 滤波 射频 前端 | ||
【主权项】：
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