[发明专利]基于n型氧化镓-p型金刚石的肖特基二极管及其制备方法在审
| 申请号： | 202210190219.7 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN114823923A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 马晓华;侯斌;常青原;武玫;杨凌;张濛;朱青;宓珉瀚;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L29/267;H01L23/373;H01L21/329 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 王萌 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于n型氧化镓‑p型金刚石的肖特基二极管及其制备方法。肖特基二极管包括n型氧化镓衬底、n型氧化镓外延层、p型金刚石结区、阳极、绝缘介质和阴极；阴极、n型氧化镓衬底、n型氧化镓外延层依次层叠；p型金刚石结区分布在n型氧化镓外延层的表层中，形成终端结构；阳极位于n型氧化镓外延层上，且其两个端部分别与p型金刚石结区部分交叠；绝缘介质位于n型氧化镓外延层上，且与阳极的两端相接触。该二极管改善了氧化镓基肖特基势垒二极管反向偏压低、反向漏电流大、热效应明显、以及异质肖特基结附近电场集中效应等问题，获得了更大的功率容量以及较高的器件可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氧化 金刚石 肖特基 二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安电子科技大学，未经西安电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210190219.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
